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资料名称 PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分研究
下载权限 免费资料
资料来源 中华包装瓶网
资料类别 技术资料
资料大小 260KB
添加时间 2010/5/28 15:25:55
下载次数 2次
资料说明 本文采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以C2H2为碳源,Ar为稀释气体,在普通PET瓶内制备类金刚石(Diamond-like Carbon, 简称DLC)薄膜作为高阻隔层。采用傅立叶红外透射光谱(FTIR)对其进行结构、成分进行分析。结果表明,射频等离子体化学气相沉积方法,可以在很短时间内于PET瓶内沉积一层纳米厚度的DLC膜。傅立叶红外透射光谱(FTIR)分析表明选用规格不同的电极,对于所制备的DLC的结构影响很大,同时薄膜结构中SP2 和SP3比例和放电功率有较大的关系,而薄膜的成分受乙炔的比例的影响也不容忽视。
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